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壽力干式螺桿真空泵的應(yīng)用范圍

發(fā)布時(shí)間:2022-07-05 瀏覽量:212

壽力干式螺桿真空泵的應(yīng)用范圍:

1.多晶硅制備過(guò)程中低壓化學(xué)氣相沉積;

2.用作普通無(wú)油清洗真空系統(tǒng)的前泵,防止油污染;

3.半導(dǎo)體蝕刻工藝。經(jīng)常使用或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨粒;

4.蒸餾、干燥、消泡、包裝化工、醫(yī)藥、食品工業(yè),防止有機(jī)溶劑污染,適用于干螺桿真空泵;

5.除半導(dǎo)體工藝外,部分工藝過(guò)程產(chǎn)生的顆粒不希望顆粒與泵油混合,希望顆粒從泵中排出,并使用一定類型的干式機(jī)械真空泵滿足要求。

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